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高性能矽電容壓力傳感器顺利通过验收

日期:2019-08-23 22:29
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摘要:

    近日國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術産業發展計劃項目——“高性能矽電容壓力傳感器順利通過驗收,該項目填補了國內高性能矽電容壓力傳感器的空白。
      该项目采用先进的微電子和微機械加工相結合的工藝技術,在矽電容傳感器设计、制造工艺技术、傳感器封装结构等方面具有**性,解决了硅电容傳感器研制的工艺技术难题,开发研制出完全拥有自主知识产权的新型高性能矽電容差压傳感器男人世界网,男人世界网精度优于0.075%FS,技術水平達到國內優越、國際上等。

      该项目建成了年男人世界网能力一万台的硅电容差压傳感器男人世界网线,实现了男人世界网的系列化男人世界网,并首次实现智能变送器男人世界网核心傳感器的国产化配套,打破了国外的技术封锁,填补了国内空白。同时,作为上游核心器件,该项研究带动了傳感器、变送器及相关仪表产业的发展,解决了有表无芯的问题,有效地支撑了优异装备制造产业链建设。高性能矽電容壓力傳感器顺利通过验收对我国壓力傳感器的發展和進步邁下了堅實的一步。
文章來源:上海卓盼電子科技有限公司

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